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西安微電子技術(shù)研究所于2018年6月自愿開展清潔生產(chǎn)審核工作，在行業(yè)專家及咨詢?nèi)藛T的指導(dǎo)下，于2019年9月完成清潔生產(chǎn)審核工作，2019年10月31日順利通過由西安市生態(tài)環(huán)境局組織的清潔生產(chǎn)審核績效評估會。

本輪清潔生產(chǎn)審核共篩選出可行的清潔生產(chǎn)方案29項，其中，無/低費方案23項，共投資186.15萬元，截止目前為止全部實施完畢，產(chǎn)生經(jīng)濟(jì)效益247.25萬元；中/高費方案6項，共投資1160萬元，截止目前為止全部實施完畢，共產(chǎn)生經(jīng)濟(jì)效益38萬元，同時所有方案實施后，所有已實施方案共計投資1346.15萬元，節(jié)約成本285.25萬元/a，年節(jié)約用電12.87萬kwh，節(jié)約用水39002t，年節(jié)約過濾器540塊，年減少氯化氫、硫酸霧等酸性氣體排放10kg，年節(jié)約氮氣126t，年節(jié)約硅片3000片，節(jié)約SOG30瓶，年減少廢切削液排放750L，年減少一般固廢產(chǎn)生2.5t，減少SO2排放0.28t/a、減少NOx排放4.3t/a，減少化學(xué)品揮發(fā)15kg、年減少NF3、CF4、CHF3等PFC尾氣排放120kg，減少COD排放140kg/a，減少氨氮排放840kg/a。取得了一定的環(huán)境效益和經(jīng)濟(jì)效益。